Download or read book CARACTERISATION ET MODELISATION DE MICROTRANSDUCTEURS DE PRESSION A HAUTES PERFORMANCES INTEGRES SUR SILICIUM written by CHRISTOPHE.. MALHAIRE and published by . This book was released on 1998 with total page 202 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: L'OBJECTIF DE CE TRAVAIL ETAIT DE MODELISER LE COMPORTEMENT THERMOMECANIQUE DE MEMBRANES COMPOSITES SIO2/SI ET DE DEVELOPPER DES OUTILS DE CARACTERISATION ADAPTES AUX MICROSTRUCTURES EN SILICIUM POUR PERMETTRE LA CONCEPTION DE MICROCAPTEURS DE PRESSION PIEZORESISTIFS A MEMBRANE DE TYPE POLYSILICIUM SUR ISOLANT A HAUTES PERFORMANCES. DES MEMBRANES SIO2/SI DE 3 MM DE COTE ET D'EPAISSEUR INFERIEURE A 40 MICRONS, RECOUVERTES PAR DES COUCHES D'OXYDE THERMIQUE DE 0.5 A 2 MICRONS, ONT ETE REALISEES PAR GRAVURE CHIMIQUE ANISOTROPE DU SILICIUM SANS COUCHE D'ARRET DANS DES SOLUTIONS KOH+H2O. NOUS AVONS ETUDIE LE PROFIL DES MEMBRANES, LA RUGOSITE ET L'UNIFORMITE DE LA GRAVURE PAR PROFILOMETRIE OPTIQUE. LES EPAISSEURS MOYENNES DES MEMBRANES ONT ETE DETERMINEES AVEC UNE INCERTITUDE DE 0.1 MICRON PAR SPECTROMETRIE INFRAROUGE A TRANSFORMEE DE FOURIER. L'ORIGINE DE LA CONTRAINTE DANS LES FILMS D'OXYDE SUR SUBSTRATS EPAIS A ETE ETABLIE ET SA VALEUR DETERMINEE AVEC UNE INCERTITUDE DE 4% PAR DES MESURES DE COURBURES MOYENNES. APRES AVOIR MONTRE LES LIMITES DES MODELES ANALYTIQUES, UN MODELE DE CALCUL PAR ELEMENTS FINIS, BASE SUR LES PROPRIETES PHYSIQUES DES MATERIAUX, DU COMPORTEMENT THERMOMECANIQUE DES MEMBRANES OXYDEES MICROUSINEES A ETE DEVELOPPE. CE MODELE A ETE VALIDE EXPERIMENTALEMENT JUSQU'A 300C PAR DES MESURES AU PROFILOMETRE OPTIQUE ET DES MESURES DE CONTRAINTES PAR SPECTROMETRIE MICRO-RAMAN. LES PROFILS DE MEMBRANES SI ET SIO2/SI ONT ETE MODELISES ET MESURES SOUS PRESSION DANS LA GAMME 0-1 BAR. L'INFLUENCE DE L'ENCASTREMENT ET LES CONSEQUENCES DE L'ETAT PRECONTRAINT DES MEMBRANES SIO2/SI SUR LES DERIVES THERMIQUES DU CAPTEUR ET LEUR REPONSE EN PRESSION ONT ETE ANALYSEES. DEUX ARCHITECTURES DE CONDITIONNEUR PIEZORESISTIF EN PONT DE WHEATSTONE ONT ETE DEVELOPPEES ET TESTEES. NOUS AVONS MONTRE LA FAISABILITE D'UN CONDITIONNEUR SANS CONTACT ALUMINIUM/POLYSILICIUM SOUMIS AUX DEFORMATIONS DE LA MEMBRANE ET AUX EVENTUELLES ATMOSPHERES CORROSIVES.