Download or read book DEPOT D'OXYDE DE SILICIUM APLANISSANT PAR PLASMA MULTIPOLAIRE MICROONDE A RESONANCE CYCLOTRONIQUE ELECTRONIQUE REPARTIE written by JAMAL.. KHALLAAYOUNE and published by . This book was released on 1992 with total page 210 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: DANS CETTE ETUDE, NOUS AVONS UTILISE UN PLASMA MULTIPOLAIRE MICROONDE POUR DEPOSER L'OXYDE DE SILICIUM A PARTIR DU MELANGE SIH#4/O#2 A BASSE TEMPERATURE ( 400C) ; LE PLASMA EST GENERE PAR RESONANCE CYCLOTRONIQUE ELECTRONIQUE REPARTIE (RCER) A BASSE PRESSION (