Etude Microstructurale De Couches Minces De Carbone Amorphe Azotees Deposees Par Pulverisation Cathodique Magnetron Radio Frequence Et Pecvd Ecr

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Etude microstructurale de couches minces de carbone amorphe azotées déposées par pulvérisation cathodique magnétron radio fréquence et PECVD-ECR

Author	: Olivier Durand-Drouhin
Publisher	:
Total Pages	: 159
Release	: 2001
ISBN-10	: OCLC:495365173
ISBN-13	:
Rating	: 4/5 (73 Downloads)

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Book Synopsis Etude microstructurale de couches minces de carbone amorphe azotées déposées par pulvérisation cathodique magnétron radio fréquence et PECVD-ECR by : Olivier Durand-Drouhin

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