Depot de nitrure de silicium assiste par plasma : etude des proprietes structurales du materiau et correlations avec ses proprietes electriques
| Author | : Gisèle Serrano |
| Publisher | : |
| Total Pages | : 0 |
| Release | : 1996 |
| ISBN-10 | : OCLC:494870085 |
| ISBN-13 | : |
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Book Synopsis Depot de nitrure de silicium assiste par plasma : etude des proprietes structurales du materiau et correlations avec ses proprietes electriques by : Gisèle Serrano
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