Depot de nitrure de silicium assiste par plasma : etude des proprietes structurales du materiau et correlations avec ses proprietes electriques
Author | : Gisèle Serrano |
Publisher | : |
Total Pages | : 0 |
Release | : 1996 |
ISBN-10 | : OCLC:494870085 |
ISBN-13 | : |
Rating | : 4/5 (85 Downloads) |
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