Etude microstructurale de couches minces de carbone amorphe azotées déposées par pulvérisation cathodique magnétron radio fréquence et PECVD-ECR
Author | : Olivier Durand-Drouhin |
Publisher | : |
Total Pages | : 159 |
Release | : 2001 |
ISBN-10 | : OCLC:495365173 |
ISBN-13 | : |
Rating | : 4/5 (73 Downloads) |
Download or read book Etude microstructurale de couches minces de carbone amorphe azotées déposées par pulvérisation cathodique magnétron radio fréquence et PECVD-ECR written by Olivier Durand-Drouhin and published by . This book was released on 2001 with total page 159 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: