Influence de la polarisation sur la purification du silicium fondu par plasma thermique

Influence de la polarisation sur la purification du silicium fondu par plasma thermique
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Book Synopsis Influence de la polarisation sur la purification du silicium fondu par plasma thermique by : Audrey Soric

Download or read book Influence de la polarisation sur la purification du silicium fondu par plasma thermique written by Audrey Soric and published by . This book was released on 2006 with total page 217 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: L'objectif de l'étude est de montrer l'influence de la polarisation de l'échantillon de silicium métallurgique (pureté de 99%), pendant son traitement plasma, sur les processus d'élimination de ses impuretés. L'échantillon de silicium est fondu sous plasma d'argon (P=17kW) puis, une fois liquide, un potentiel lui est imposé par l'intermédiaire de son substrat de graphite. Deux techniques d'analyse ont été développées pour le contrôle du procédé. La phase plasma est analysée à l'interface plasma-silicium liquide par OES afin de suivre la cinétique d'élimination des impuretés. La composition des échantillons avant et après traitement est, elle, caractérisée par LIBS. Ces deux méthodes de spectroscopie ont permis de démontrer l'influence du potentiel imposé sur les cinétiques d'évaporation des impuretés. Les résultats obtenus ont montré que les processus d'extraction des impuretés de type métallique étaient gouvernés par des réactions électrochimiques à l'interface plasma-silicium liquide.


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