Download or read book NETTOYAGE DE SURFACE ET DEPOT DE SILICIUM EN PLASMA MULTIPOLAIRE MICRO-ONDE written by MARC.. GUILLERMET and published by . This book was released on 1989 with total page pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: DEVELOPPEMENT D'UN PLASMA MULTIPOLAIRE MICRO-ONDE EXCITE PAR RESONANCE CYCLOTRONIQUE ELECTRONIQUE; PRODUCTION A BASSE PRESSION (0,1 PA), D'UN PLASMA HOMOGENE DE DENSITE ELEVEE AVEC DES IONS D'ENERGIE CONTROLABLE DE 1 A 100 EV. CARACTERISATION CHIMIQUE (SPECTROMETRIE DES ELECTRONS AUGER) ET CRISTALLOGRAPHIQUE (DIFFRACTION D'ELECTRONS LENTS) DE LA SURFACE DES SUBSTRATS DE SILICIUM; ETUDE DE L'ETAT DE SURFACE APRES INTERACTION AVEC LE PLASMA. CARACTERISTIQUES PHYSICO-CHIMIQUES ET ELECTRIQUES DES COUCHES EPITAXIQUES